苏州创普真空技术有限公司
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产品与服务
产品名称： 多功能多靶位平面靶台式镀膜机
发布日期： 2022-12-09
点击数： 712
二维码：
产品详情
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项目
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说明
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单室配置真空室尺寸/mm |
450x450 x550 |
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溅射方向 溅射间距/mm |
立式向上溅射 50-90 |
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极限压力/pa |
5× 10-5 |
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抽气时间 /min |
从1 × 105 pa至2 × 10-3 pa ≤ 30 |
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溅射工作压力/pa
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5×10-1 |
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样品台加热/℃ |
室温-600 |
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真空系统
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机械泵＋分子泵
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溅射靶尺寸（内径×厚度×高度）/mm
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2-3英寸 |
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溅射靶数量/set
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3 |
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溅射靶电源 （可选配射频） |
直流电源/set
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2 - 3 |
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功率/W
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500 |
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工件旋转/r·min
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5 - 25 |
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样品架尺寸/mm
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100x100 |
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射频溅射电源
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射频电源/set
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1 |
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功率/kW
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500 |
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气路系统
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自动压强系统
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冷却水流量/L·min |
≥15 |
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水压/pa
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≥2.5×105 |
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进水温度/℃
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≤25 |
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用电功率/kW
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MAX-20 |
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占地面积/mm
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2000 × 1500 × 1800 |
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