苏州创普真空技术有限公司
地址: 江苏省苏州市吴中区木渎镇珠江中路159号
邮政编码: 215000
电话/传真: 0512-67317806手机: (86) 18802479049
电子邮箱: 18802479049@163.com
网址: www.stvacuum.com
产品与服务
产品名称： 多功能多靶位平面靶台式镀膜机
发布日期： 2022-12-09
点击数： 631
二维码：
产品详情
|
项目
|
说明
|
||
|
单室配置真空室尺寸/mm |
450x450 x550 |
||
|
溅射方向 溅射间距/mm |
立式向上溅射 50-90 |
||
|
极限压力/pa |
5× 10-5 |
||
|
抽气时间 /min |
从1 × 105 pa至2 × 10-3 pa ≤ 30 |
||
|
溅射工作压力/pa
|
5×10-1 |
||
|
样品台加热/℃ |
室温-600 |
||
|
真空系统
|
机械泵＋分子泵
|
||
|
溅射靶尺寸（内径×厚度×高度）/mm
|
2-3英寸 |
||
|
溅射靶数量/set
|
3 |
||
|
溅射靶电源 （可选配射频） |
直流电源/set
|
2 - 3 |
|
|
功率/W
|
500 |
||
|
工件旋转/r·min
|
5 - 25 |
||
|
样品架尺寸/mm
|
100x100 |
||
|
射频溅射电源
|
射频电源/set
|
1 |
|
|
功率/kW
|
500 |
||
|
气路系统
|
自动压强系统
|
||
|
冷却水流量/L·min |
≥15 |
||
|
水压/pa
|
≥2.5×105 |
||
|
进水温度/℃
|
≤25 |
||
|
用电功率/kW
|
MAX-20 |
||
|
占地面积/mm
|
2000 × 1500 × 1800 |
||
上一个：多功能双室多靶位平面靶台式镀膜机
下一个：没资料
