苏州创普真空技术有限公司
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产品与服务
产品名称： 高真空金属三源蒸发镀膜系统
发布日期： 2020-04-17
点击数： 1760
二维码：
简述：
产品详情
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项目
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说明
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真空室尺寸（内径×高度）/mm
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350x420 |
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极限压力/pa
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6× 10-5
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抽气时间 /min
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从1 × 105 pa至5 × 10-4 pa ≤ 40 |
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蒸镀工艺气压/pa
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5× 10-4
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真空系统
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机械泵＋分子泵 （可实现一键真空系统）
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样品台配置 |
加热+旋转+升降（二级升降） |
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蒸发源 |
金属源 |
5v 200A 水冷电极3套 |
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蒸发电源 |
5V200A 3套 |
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Loadlock式掩膜库 （选配，真空系统内更换掩膜四次） |
3-4片掩膜板 |
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石英晶体膜厚仪 |
0-99μ9999a° |
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冷却水流量/L·min
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≥15 |
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水压/pa
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≥2.5×105 |
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进水温度/℃
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≤25 |
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用电功率/kW
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MAX-15 |
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占地面积/mm （长x宽x高）
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1050 ×1250 × 2000
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备注 |
可根据客户需求设定
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